全欧光学μPhase®高精度干涉仪，是用来测量光学元件的面型的仪器，可测量平面、球面、圆柱面、复曲面和非球面等元件的面型，光学镜头的透射波前，球面镜的曲率等。可测量元件的材料有光学玻璃材料，塑料，陶瓷和金属等。干涉仪为非接触式测量，可保证获得对光学元件表面和波前的高精度数据的同时，不会损坏光学元件的表面，测量原理为泰曼格林型或菲索型。同时分析软件可对采集的数据进行离线分析和管理。 产品基于模块化设计，为用户提供了非球面模块，圆柱分析模块，光纤连接模块，棱镜分析模块，楔形分析等模块以供选择，并可为用户提供模块化定制服务。 μPhase®高精度干涉仪的典型应用为集成在单点金刚石车床中，对被加工工件进行在线实时检测，通过软件分析，弥补车床加工误差，以保证加工精度。产品还搭配了高分辨率相机，可选配多种镜头，标准波长632.8nm光源，并可对XYZ轴高精度调节。
