气浮型模块式主动减振器 模块尺寸369×388×188mm

模块式设计，能适用于更多需要安装配置的场合，外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型，弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合，提供出色的隔振效果；运动前馈与速度反馈控制结合，有效消减平台运动加速度，快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备，消减大质量滑块运动带来的振动；半导体设备，及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。

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关于产品

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