模块式设计,能适用于更多需要安装配置的场合,外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型,弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合,提供出色的隔振效果;运动前馈与速度反馈控制结合,有效消减平台运动加速度,快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备,消减大质量滑块运动带来的振动;半导体设备,及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。 产品特点: *安装方便,接入电源即可使用 *调节水平功能,操作简便 *模块化的主动减振器,可根据设备重量和尺寸,制作成各种平台 *6自由度振动信号实时检测,执行器提供推力,主动衰减振幅 *实时监控台面振动