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光学非接触式测厚仪

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LensThick非接触式光学测厚仪利用低相干光干涉测量方法来精确测量厚度,以宽谱光源作为相干光源,其相干长度短,只有在测量光和参考光的光程相等时才能产生干涉峰值,因此具有很好的空间定位特性,测厚仪内置光学干涉仪,通过计算透镜前后镜面顶点对应干涉峰之间的距离变化可以得出透镜的中心厚度。
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