*单轴-Z轴 *轨道方式使用线性滚珠导轨 *驱动方式：千分尺进给 *千分尺最小读取量10μm *主体材质-SUS440C（无电解镀镍） *导轨面经过硬化，并施以高精度切削研磨加工，得到优异的平行度、平面度 *适用于高精度，中载荷的精密位置调节的场合