行程
200mm
负载
20kg
最小运动增量
1μm
单向重复定位精度（保证值）
±3μm
分辨率
0.05μm
单向重复定位精度（典型值）
±1μm
双向重复定位精度（保证值）
±5μm
准确度（保证值）
±20μm
准确度（典型值）
±15μm
最大速度
100mm/s
直线度
15μm
Yaw-偏摆
45″
持续推力
/
重量
23.8kg
适配控制器
528259/528260
位移台插电即用，控制器配备触摸显示屏方便调试与控制，接口丰富方便二次开发。
关于价格
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关于产品
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