Yaw-偏摆
30″
峰值推力
/
持续推力
/
Pitch-俯仰
30″
平整度
15μm
直线度
15μm
负载
10kg
双向重复定位精度（保证值）
±3μm
准确度（典型值）
±8μm
行程
150mm
适配控制器
528264/528292/528293
重量
4.8kg
滤镜尺寸
/
有效焦距
150mm
相邻焦点间距
15μm
使用场景
真空专用
最大速度
10mm/s
载重
10kg
双向重复定位精度（典型值）
±1.5μm
误差范围
±3μm
单向重复定位精度（典型值）
±0.5μm
单向重复定位精度（保证值）
±1μm
准确度（保证值）
±15μm
最小运动增量
1μm
分辨率
0.625μm
产品特点
1. 行程覆盖：30mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm
2. 坚固的台身设计可确保进行可靠的XY轴组装
关于价格
关于价格，网站显示的产品价格均为含税价，含税13%。为回馈会员用户，部分产品参与会员折扣，具体折扣详情见会员信息。
关于产品
关于产品，产品入库前都经过至少2次的检测（镀膜产品经过4次检测），质量有保证，请放心使用。
有关货期
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关于发票
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