覆盖的焦点比率
实际上,任何焦比都可以用适当的准直仪进行测试
Zernike多项式的RMS 计算重复性
1-2nm rms (λ/600-λ/300) at 633nm
最大斑点(带有千兆摄像头的阵列)15毫米瞳孔
75×75 (with 0.2mm array)
115×115 spots (with 0.13mm array)
无斑点(直径为0.2mm的透镜阵列和USB3相机)9毫米的孔径
45×45 with (with 0.2mm array)
69×69 spots (with 0.13mm array)
相机接口
千兆和USB2和USB3连接可用,0位到16位
标准透镜的直径和焦距
(0.2mm, 11mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41mm).
Others: (0.13mm, 7mm). Special
可在平行光下测试的光学元件的直径
几乎任何直径都可以用适当的配件进行测试