WaveMaster® PLAN适用于使用夏克哈特曼传感器的波前分析对平面进行质量检查。 产品特点 1. 平面光学元件的综合波前分析 2. 快速简便的测量：手动放置样品，并通过X-Y表进行调整 3. 通过抗振结构实现稳定且与环境无关的测量系统