新型μPhase® ST/ST+R生产/研发专用干涉仪能够快速测量光学表面和波前,测量时间只需数秒钟。该干涉仪操作简单,集成校准模式,测量迅速,是在线检测平面和球面样品的理想设备。 产品应用 1. 用于测量平面和球面样品 2. 可用于基于10mm和50mm的光学器件 3. 紧凑型桌面设置,用于垂直测量,占地面积小 4. 通过集成的倾斜和xy平移台实现样品优化校准 5. 垂直轴用于高精度调整,可粗调和微调 6. 可选半径测量功能