大视野成像系统主要由大靶面相机、大视野镜头和同轴光源构成,工作范围从310mm到820mm,对应的物面尺寸从152×114mm到445×333mm,分辨率最高可达10um,1.5亿分辨率的显微成像系统,适合大尺寸的外观检测,如4、6寸晶圆缺陷检测,PCB检测等。 产品特点 1. 高分辨率,1.5亿分辨率的显微成像系统 2. 超大的视野,最小视野就有152×114mm 3. 配大发光面的同轴光源,可选白色、蓝色、绿色、红色之一 4. 工作距离可调,310mm-820mm,光圈F5.6-F22 5. 相机可选配彩色或着黑白 6. 重量轻,相机+镜头不超过2kg 7. 精度高,成像质量好