692007规格书

692007规格书

产品信息

4.2 1.5亿像素 同轴光大视野成像系统

产品编号:692007

产品描述

大视野成像系统主要由大靶面相机、大视野镜头和同轴光源构成,工作范围从310mm到820mm,对应的物面尺寸从152×114mm到445×333mm,分辨率最高可达10um,1.5亿分辨率的显微成像系统,适合大尺寸的外观检测,如4、6寸晶圆缺陷检测,PCB检测等。

产品特点
1. 高分辨率,1.5亿分辨率的显微成像系统
2. 超大的视野,最小视野就有152×114mm
3. 配大发光面的同轴光源,可选白色、蓝色、绿色、红色之一
4. 工作距离可调,310mm-820mm,光圈F5.6-F22
5. 相机可选配彩色或着黑白
6. 重量轻,相机+镜头不超过2kg
7. 精度高,成像质量好
规格参数
倍率
0.12-0.35×
工作距离
310-820mm
物面大小
152×114-445×333mm
物方分辨率
最高可达10μm
相机分辨率
14208×10640
像元尺寸
3.76 μm
NA
0.021-0.015
F/#
F5.6-F22
畸变
-0.131%~0.114%
靶面尺寸
66.7 mm
尺寸图 & 曲线图