690144规格书

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产品信息

白光干涉物镜 20× 齐焦45mm CF Plan DI

产品编号:690144

产品描述

联合光科推出的齐焦距离为45mm的干涉物镜,有Michelson和Mirau两种设计类型,提供2.5×~50×多种倍率可以选择,Na值从0.075~0.55,可与多数商用干涉仪主机快速匹配,集成简便。适用于需要无损检测表面粗糙度、平整度、薄膜厚度和微观形貌的领域,例如制造中的晶圆检测、精密光学元件的面型评估、材料表面的磨损分析,以及微机电系统(MEMS)器件的特性测量。

*分辨能力和物镜景深是根据基准波长λ=550nm计算得出的值。
规格参数
曲率半径R1
40.4mm
长度
40.4mm
兼容管镜焦距
200mm
焦距
10mm
工作距离
4.6mm
数值孔径
0.4
放大倍率
20×
安装螺纹
W4/5″×1/36″
类型
CF Plan DI
倍率
20×
直径
Φ32.4mm
有效焦距
200mm
通光孔径
10mm
景深
1.72μm(λ=550nm)
分辨能力
0.69μm(λ=550nm)
最大深度
4.6mm
数值孔径NA
0.4
 
 
尺寸图 & 曲线图
白光干涉物镜 20× 齐焦45mm CF Plan DI