527057规格书
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产品信息
压电纳米XY平台 行程75×75mm 100nm分辨率 包含控制器
产品编号：527057
产品描述
联合光科期望在您构建光学实验系统的过程中，能为您提供简洁、经济、快捷的手段，并方便您使用过程中快捷的进行元件的固定、替换和调整。
规格参数
台面尺寸
150×150mm
尺寸
75×75mm
马达型号
压电马达
载重
5kg
最大速度
30mm/s
最小步距
100nm
重复定位精度
±0.30μm
位置传感器
光栅
材质
铝合金，阳极氧化
行程
75×75mm
驱动马达
压电马达
最大负载
5kg
传感器（光栅）分辨率
100nm
尺寸图 & 曲线图
