527050规格书
527050规格书
产品信息
压电纳米XY平台 台面尺寸=100×100mm 行程=X:50mm;Y:50mm 包含控制器
产品编号：527050
产品描述
联合光科期望在您构建光学实验系统的过程中，能为您提供简洁、经济、快捷的手段，并方便您使用过程中快捷的进行元件的固定、替换和调整。
产品特点
1. 全压电马达驱动平台组合
2. 超高精度
3. 断电自锁，内具刹车功能，无回程间隙
4. 外观简洁，结构紧凑
规格参数
台面尺寸
100×100mm
行程
X:50mm;Y:50mm
载重
3kg
带宽
30nm
马达型号
压电马达
最大速度
20mm/s
重复定位精度
±0.15μm
位置传感器
光栅
材质
铝合金，阳极氧化
最大负载
3kg
最小步距
30nm
驱动马达
压电马达
传感器（光栅）分辨率
30nm
尺寸图 & 曲线图
