526964规格书

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产品信息

垂直升降台 台面宽度215mm 行程300mm 伺服电机

产品编号:526964

产品描述

联合光科提供各类升降台,包括步进电机升降台、直线电机升降台、伺服电机升降台,适用于行程范围在0-300mm之间的各项应用。526952和526953是两款步进电机升降台,升降台的台面平行于安装面沿Z轴进行升降运动,它结构坚固、性能卓越。526954是直线电机升降台,它的台面垂直于安装面,沿Z轴进行升降运动,结构简单且拥有极佳的微步能力和位置稳定性。升降台广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括半导体晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。
位移台插电即用,控制器配备触摸显示屏方便调试与控制,接口丰富方便二次开发。
规格参数
行程
300mm
负载
30kg
最小运动增量
0.5μm
单向重复定位精度(保证值)
±0.3μm
分辨率
0.05μm
单向重复定位精度(典型值)
±0.2μm
双向重复定位精度(保证值)
±0.5μm
准确度(保证值)
±2μm
准确度(典型值)
±1μm
最大速度
100mm/s
直线度
10μm
Yaw-偏摆
15″
持续推力
/
重量
28kg
适配控制器
528259/528260
 
 
尺寸图 & 曲线图
垂直升降台 台面宽度215mm 行程300mm 伺服电机