526952规格书

526952规格书

产品信息

垂直升降台 台面宽度115mm 行程50mm 铝合金 滚珠丝杆+交叉滚柱导轨

产品编号:526952

产品描述

联合光科提供各类升降台,包括步进电机升降台、直线电机升降台、伺服电机升降台,适用于行程范围在0-300mm之间的各项应用。526952和526953是两款步进电机升降台,升降台的台面平行于安装面沿Z轴进行升降运动,它结构坚固、性能卓越。526954是直线电机升降台,它的台面垂直于安装面,沿Z轴进行升降运动,结构简单且拥有极佳的微步能力和位置稳定性。升降台广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。
位移台插电即用,控制器配备触摸显示屏方便调试与控制,接口丰富方便二次开发。
规格参数
负载
10kg
峰值推力
/
持续推力
/
Pitch-俯仰
40″
Yaw-偏摆
40″
平整度
15μm
直线度
15μm
准确度(典型值)
±15μm
双向重复定位精度(典型值)
±2μm
双向重复定位精度(保证值)
±3μm
单向重复定位精度(典型值)
±1μm
单向重复定位精度(保证值)
±2μm
最小运动增量
2μm
有效焦距
50mm
行程
50mm
适配控制器
528264/528292/528293
重量
2.9kg
滤镜尺寸
/
分厘卡最小读取量
40″
相邻焦点间距
15μm
最大速度
10mm/s
准确度(保证值)
±15μm
误差范围
±2μm
分辨率
0.625μm
位置反馈分辨率
2μm
载重
10kg
尺寸图 & 曲线图
垂直升降台 台面宽度115mm 行程50mm 铝合金 滚珠丝杆+交叉滚柱导轨