526803规格书

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产品信息

10nm步进压电平移台 台面尺寸=100×155mm 行程=90mm 包含控制器

产品编号:526803

产品描述

联合光科的10nm步进压电平移台为铝合金主体,采用不锈钢交叉滚柱轴承,具有高精密度、高重复性,高线性度。超薄紧凑型的结构设计,方便机械集成。联合光科提供最小步进距10nm的压电平移台库存产品供您选择。
联合光科期望在您构建光学实验系统的过程中,能为您提供简洁、经济、快捷的手段,并方便您使用过程中快捷的进行元件的固定、替换和调整。

产品特点
1. 压电超声波马达驱动,轴向推8N
2. 采用不锈钢交叉滚柱轴承,具有高精密度、高重复性,高线性度
3. 断电自锁,内具刹车功能,无回程间隙
4. 最小步进距10nm
5. 光栅尺位置传感器
6. 超薄紧凑型设计,方便机械集成,铝合金主体,阳极氧化处理
规格参数
台面尺寸
80×155mm
行程
90mm
马达型号
M304
轴向推力
8N
载重
5kg
最大速度
20mm/s
半带宽FWHM
10nm
重复定位精度
0.3μm
位置传感器
光栅或磁栅尺
直线度
<2μm
运动平行度
<10μm
材质
铝合金,阳极氧化
最大负载
5kg
最小步距
10nm
尺寸图 & 曲线图
10nm步进压电平移台 台面尺寸=100×155mm 行程=90mm 包含控制器