526679规格书

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产品信息

真空位移台 台面宽度120mm 行程200mm 滚珠丝杆+直线导轨 真空专用

产品编号:526679

产品描述

联合光科提供各类真空直线位移台,适用于行程范围在0-1000mm之间的各项应用,结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。位移台插电即用,控制器配备触摸显示屏方便调试与控制,接口丰富方便二次开发。

产品特点
1. 行程覆盖:30mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm
2. 坚固的台身设计可确保进行可靠的XY轴组装
规格参数
最小运动增量
3μm
峰值推力
/
持续推力
/
Pitch-俯仰
40″
Yaw-偏摆
40″
平整度
15μm
直线度
15μm
负载
20kg
双向重复定位精度(典型值)
±2μm
双向重复定位精度(保证值)
±3μm
单向重复定位精度(典型值)
±1μm
单向重复定位精度(保证值)
±2μm
准确度(典型值)
±8μm
有效焦距
200mm
行程
200mm
适配控制器
528264/528292/528293
重量
12kg
滤镜尺寸
/
分厘卡最小读取量
40″
相邻焦点间距
15μm
使用场景
真空专用
最大速度
40mm/s
载重
20kg
误差范围
±8μm
准确度(保证值)
±15μm
分辨率
2.5μm
尺寸图 & 曲线图
真空位移台 台面宽度120mm 行程200mm 滚珠丝杆+直线导轨 真空专用