526655规格书

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产品信息

直线位移台 台面宽度80mm 行程50mm 铝合金 滚珠丝杆+交叉滚柱导轨

产品编号:526655

产品描述

联合光科提供紧凑型步进电机位移台,适用于行程范围在0-50mm之间的各项应用,结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。位移台插电即用,控制器推荐小巧mini型方便调试与控制,RS232串口通讯,可提供SDK方便二次开发。

产品特点
1. 行程覆盖:30mm、50mm
2. 坚固的台身设计可确保进行可靠的XY轴组装
规格参数
载重
5kg
负载
5kg
峰值推力
/
持续推力
/
Pitch-俯仰
30″
平整度
10μm
直线度
10μm
使用场景
/
双向重复定位精度(典型值)
±1μm
双向重复定位精度(保证值)
±2μm
准确度(典型值)
±5μm
准确度(保证值)
±10μm
行程
50mm
有效焦距
50mm
适配控制器
528264/528292/528293
重量
1.3kg
滤镜尺寸
/
Yaw-偏摆
30″
相邻焦点间距
10μm
最大速度
10mm/s
单向重复定位精度(保证值)
±1μm
误差范围
±2μm
单向重复定位精度(典型值)
±0.5μm
最小运动增量
1μm
分辨率
0.625μm
 
 
尺寸图 & 曲线图
直线位移台 台面宽度80mm 行程50mm 铝合金 滚珠丝杆+交叉滚柱导轨