粗糙度
三坐标:ZEISS PRISMO 9/15/7 verity
蔡司 PRISMO 系列中的高精度升级型号，定位介于标准 PRISMO 与旗舰级 PRISMO ultra 之间。它继承了 PRISMO ultra 多年积累的核心校正技术，在精度、生产效率和环境适应性上全面超越标准 PRISMO，专为对测量精度有极致要求的精密制造场景而设计。可测量尺寸，平行等。
检测项目
设备精度
设备精度
0.7+L/300μm
检测报价及周期
ZYGO Verifire 24英寸大口径激光干涉仪
ZYGO Verifire 24英寸大口径激光干涉仪：ZYGO Verifire 24英寸系统采用经典斐索干涉架构，由4英寸干涉仪主机搭配24英寸扩束镜构成双通道模块化设计。系统标配QPSI™ 抗振采集技术，可在生产现场振动干扰环境下实现可靠的高精度测量。且配备MST波长调制技术，可同时测量多个表面的相位数据。可测试平行窗口各表面的面型、透过波前以及总厚度变化、楔角和材料不均匀性。
检测项目
TF镜PV精度
RMS重复性精度
设备精度
λ/10@632.8nm
0.06nm
检测报价及周期
专业检测流程
需求提交
提交样品信息
与检测需求
与检测需求
样品评估
工程师评估可行性
制定检测方案
制定检测方案
方案确认
确认检测方案
报价与周期
报价与周期
专业检测
标准化检测流程
确保结果准确
确保结果准确
数据报告输出
提供纸质检测报告
与展示效果
与展示效果